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      HMDS預處理真空烘箱PVD-090-HMDS

      HMDS預處理真空烘箱

      一、HMDS 預處理系統的必要性:

      在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

      二、產品特點:

      1)外殼采用優質SUS304不銹鋼材質,內膽316L不銹鋼材料;采用不銹鋼加熱管,均勻分布在內膽外壁,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發塵材料,適用百級光刻間凈化環境使用。

      2)箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內保持高真空度。

      3) 溫度采用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定可靠.

      4)智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。

      5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,使真空箱密封性能極好,確保HMDS氣體無外漏顧慮。

      三、技術參數

      規格型號

      PVD-090-HMDS

      PVD-210-HMDS

      容積(L

      90L

      210L

      控溫范圍

      RT+10250

      溫度分辨率

      0.1

      控溫精度

      ±0.5

      加熱方式

      內腔體外側加溫

      隔板數量

      2PCS

      3PCS

      真空度

      <133Pa(真空度范圍100100000pa

      真空泵

      抽氣速度4升/秒,型號DM4

      電源/功率

      AC220/50Hz,3KW

      AC380V/50Hz,4KW

      內膽尺寸W*D*H

      450*450*450

      560*640*600

      外形尺寸W*D*H

      650*640*1250

      1220*930*1755

      連接管:316不銹鋼波紋管,將真空泵與真空箱完全密封無縫連接

      備注:選配溫度壓力記錄儀時,因工藝需要改變設備整個外箱結構,請參考實物圖。外殼采用優質冷軋鋼板粉末靜電噴涂,內膽采用316L不銹鋼,外箱尺寸為(W*D*Hmm980x655x1600(含下箱柜高700),下箱柜空置。

      四、HMDS預處理系統的原理:

      HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

      五、HMDS預處理系統的一般工作流程:

      首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真空度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100-200,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表面生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。

      六、尾氣排放:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無專用廢氣收集管道時需做專門處理。

      七、產品操作控制系統平臺配置:

      DM4直聯旋片式真空泵,溫度控制器,日本三菱可編程觸摸屏操作模塊,固態繼電器,加急停裝置。

      選購件:富士溫控儀表(溫度與PLC聯動)、三色燈、壓力記錄儀和溫度記錄儀。

      其它選配:

      1)波紋管2米或3米(標配含1米)

      2)富士溫控儀表(溫度與PLC聯動)

      3)三色燈

      4)增加HMDS液體瓶

      5)下箱柜子(304不銹鋼)適用于外304不銹鋼內316不銹鋼標準款式

      6)壓力溫度記錄儀(帶曲線)

       

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